等离子清洗机的工艺冷却水使用

真空等离子清洗机所产生的等离子体是温度非常低的，但在使用过程中，如果使用功率较高或处理时间过长都会出现电极板温度升高的情况，而且等离子清洗机通常会处理一些对温度比较敏感的产品，这时就需要根据用户要求对电极板进行降温，以达到对腔体内部温度稳定在要求范围的目的。下图为常见的电极板底部铺设冷却水管的电极板冷却方式。

（1）等离子清洗机的工艺冷却水来源

等离子清洗机所用的工艺冷却水来源主要有两个，分别为冷水机供应和用户端循环水供应。对于大型等离子清洗机建议配单独的冷水机，以便维护。

（2）工艺冷却水通用要求

等离子清洗机的冷却水的温度通常控制在20-50℃，根据实际需要进行调整；压力通常在0.3-0.5MPa；流量通常在2～7 SLM。实际参数需依实际使用需求为准。

（3）工艺冷却水的实时监控

等离子清洗机需要降温的都是关键部件，如出现温度过高或压力不足将会造成产品报废和设备部件损坏的情况，所以实时监控非常重要，一旦超出要求范围必须立刻报警停机。

等离子清洗机的冷却水压力和流量监控通常是由水流开关完成，水流开关分为机械式和数量式，需串联在进水管上使用，当压力或流量过低时输出信号，实现设备的报警功能。等离子清洗机通常是在每一个温控部件的进水口都安装独立的水流开关，以保证稳定可靠。

温度报警的实现是通过在各部件上安装温度传感器、冷水机信号输出、各部件自带温度传感器信号输出等方式实现，具体实施方式需根据实际要求选择。在实际应用中为保证等离子清洗机的运行稳定，通常会选择多种方式同时使用。