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工艺冷却水是工业生产中最常用的温度控制介质,应用非常广泛,按应用类别分主要分为无尘车间冷却、工艺设备冷却及生产制程冷却等,在等离子清洗机中的应用就属于工艺设备冷却。
(1)真空等离子清洗机的电极板冷却
真空等离子清洗机所产生的等离子体是温度非常低的,但在使用过程中,如果使用功率较高或处理时间过长都会出现电极板温度升高的情况,而且等离子清洗机通常会处理一些对温度比较敏感的产品,这时就需要根据用户要求对电极板进行降温,以达到对腔体内部温度稳定在要求范围的目的。下图为常见的电极板底部铺设冷却水管的电极板冷却方式。
(2)等离子发生器冷却
等离子清洗机的等离子发生器是设备的核心部件,小型的等离子清洗机通常使用功率小,等离子发生器自身所产生的热量也比较小,通常会采用风冷的方式进行冷却除温。但大型等离子清洗机都是会使用输出功率比较大的等离子发生器,在工作中自身产生的热量也是非常大的,为了保证设备使用的稳定性、增加其使用寿命,大功率的等离子发生器都是采用工艺冷却水除温的方式进行冷却降温。
(3)干式真空泵冷却
干式真空泵无润滑油冷却,在使用时机械结构间的摩擦又会产生非常高的温度,如不进行冷却降温真空泵运转时会出现转子或螺杆抱死的情况,导致报废。所以,干式真空泵在使用时需进行实时降温,所使用的方式就是工艺冷却水降温。
部分干式泵在设计时为了保证减少电机的噪音和更好的做好电机防护通常还会选用水冷式电机,也需要工艺冷却水进行实时降温。